XYZ三軸式精密平臺(tái)技術(shù)參數(shù)：

1.采用單片機(jī)控制，運(yùn)行機(jī)構(gòu)是直線電機(jī)與傳統(tǒng)的伺服電機(jī)+螺桿或同步帶相比較可以獲得更高的重復(fù)定位和高速度。

2.重復(fù)定位精度：±0.5μm 。 定位精度  ：±1μm 。最高速度　：1000mm/s。

3.負(fù)載可以達(dá)到3公斤。可以與激光測(cè)量?jī)x，激光切割機(jī)，點(diǎn)膠機(jī)等配合實(shí)現(xiàn)高精密的測(cè)量切割點(diǎn)膠放點(diǎn)等。